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深圳市中圖儀器股份有限公司

PRODUCT DISPLAY

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W系列白光干涉儀

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號:

品       牌:中圖儀器

廠商性質(zhì):生產(chǎn)商

所  在  地:深圳市

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更新時間:2024-08-10 08:09:58瀏覽次數(shù):717次

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羅健

經(jīng)理
掃一掃,微信聯(lián)系
產(chǎn)地 國產(chǎn) 加工定制
W系列白光干涉儀由照明光源系統(tǒng),光學成像系統(tǒng),垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。是目前三維形貌測量領域高精度的檢測儀器之一。在微電子、微機械、微光學等領域,白光干涉測量儀器可以提供更高精度的檢測需求。

W系列白光干涉儀由照明光源系統(tǒng),光學成像系統(tǒng),垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。是目前三維形貌測量領域高精度的檢測儀器之一。在微電子、微機械、微光學等領域,白光干涉測量儀器可以提供更高精度的檢測需求。


光學3D表面輪廓測量儀,W1白光干涉儀.jpg


白光干涉儀光學測量優(yōu)點

一是非接觸高精密測量,不會劃傷甚至破壞工件;

二是測量速度快,不必像探頭逐點進行測量;

三是不必作探頭半徑補正,光點位置就是工件表面測量的位置;

四是對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu),可以快速而精確的得到理想的測量結(jié)果。


W系列白光干涉儀的雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設計,既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣,在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,可以有效隔絕地面?zhèn)鲗У恼駝?,同時內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動,確保儀器在車間也能正常工作。它的載物臺尺寸為320*200mm(可定制),行程為140*110mm(可定制);測量的Z向范圍可達10mm(2.5X鏡頭),Z向的精度可高達0.1nm。


光學3D表面輪廓測量儀,W1白光干涉儀.jpg

【測量小尺寸樣品時】可以測到12mm,也可以測到更小的尺寸,XY載物臺標準行程為140*110mm,局部位移精度可達亞微米級別,鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達0.4um,Z向掃描電機可掃描10mm范圍,縱向分辨率可達0.1nm級別,因此可測非常微小尺寸的器件;

【測量大尺寸樣品時】支持拼接功能,將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像,拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致,可達0.1um;


中圖儀器白光干涉儀采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡,可以直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌,也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌,樣品表面形貌展示得更加清晰,圖像更大,觀察更加方便。

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